真空紫外光譜儀依托Seya-Namioka精密光路結(jié)構(gòu),入射狹縫和CCD探測(cè)器均位于羅蘭圓上,支持單色模式與光譜模式靈活切換,可滿足多場(chǎng)景精密光譜分析需求。其中,NIM型真空紫外光譜儀,廣泛應(yīng)用于大科學(xué)裝置、半導(dǎo)體極紫外光源與探測(cè)器研究、空間與防務(wù)等領(lǐng)域。
該光譜儀具備多重核心產(chǎn)品特點(diǎn),適配專業(yè)分析場(chǎng)景:波長(zhǎng)范圍較寬,可覆蓋多樣檢測(cè)需求;配備在線精密可調(diào)狹縫,保障檢測(cè)精度;支持空間維聚焦擴(kuò)展,適配復(fù)雜測(cè)試場(chǎng)景;可提供系統(tǒng)集成服務(wù),貼合個(gè)性化應(yīng)用需求;整體結(jié)構(gòu)緊湊、集成度高,節(jié)省安裝空間;同時(shí)具備高真空兼容性,適配特殊工況檢測(cè)。
設(shè)備核心參數(shù)精準(zhǔn)可控,支撐高效檢測(cè):光柵采用球面光柵,波長(zhǎng)范圍覆蓋80nm~200nm;光譜分辨率在167nm處可達(dá)0.16nm,波長(zhǎng)精度可根據(jù)實(shí)際需求定制設(shè)計(jì);搭載科研級(jí)相機(jī)作為探測(cè)器,檢測(cè)性能穩(wěn)定;狹縫寬度支持0.01~3mm在線連續(xù)可調(diào),進(jìn)一步提升檢測(cè)靈活性與精準(zhǔn)度。