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斜入射光柵單色器采用斜入射式結(jié)構(gòu)，利?平面光柵進(jìn)行分光，具有較高的傳輸效率，同時(shí)對(duì)光譜脈沖寬度展寬較小，可以實(shí)現(xiàn)點(diǎn)到點(diǎn)的單色光成像。主要用于極紫外波段的光譜測(cè)量和分光實(shí)驗(yàn)。

真空紫外分光光度計(jì)是一種專門用于測(cè)量材料在10-200 nm波長(zhǎng)范圍內(nèi)（即真空紫外區(qū)）的吸光度、反射率或透射率的精密分析儀器。它與普通紫外-可見分光光度計(jì)的核心區(qū)別就在于其真空密封的光路系統(tǒng)和適用于該波段的特殊光學(xué)元件。

超環(huán)面光柵單色器 是一種利用表面形狀為超環(huán)面的衍射光柵，將寬波段、連續(xù)譜的入射光（如同步輻射光）在空間上進(jìn)行色散，并從中選擇出單一波長(zhǎng)的單色光輸出的精密光學(xué)裝置。